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                          aixACCT雙光束激光干涉儀aixDBLI

                          291 閱讀
                          • 品牌名稱:aixACCT
                          • 規格型號:aixDBLI
                          產品介紹

                          機電大信號應變和極化測量。

                          壓電小信號系數和介電常數與直流偏置電壓的關系。如果已知剛度值,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數。

                          電氣和機電性能疲勞。

                          作為電氣薄膜測試的創新者,aixACCT Systems已將公認的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統,該系統可進行長達8英寸的晶圓表征。用于測量d33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)可提供經過驗證的精度(x切割石英),可達0.2 pm / V。該系統的主要特點是單次測量的采集時間極短,僅為幾秒鐘?;谛碌臄祿杉惴?,測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進行此類測量的主要障礙。

                          產品參數

                          分辨率:1 pm通過x-cut Quartz測試

                          位移/應變測量:

                          50 Hz-5 kHz

                          100 mV至10 V

                          Max.25 V(可選)

                          壓電d33系數:

                          偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

                          Max.25 V(可選)

                          小信號(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

                          電致伸縮M33:與d33相似

                          C(V)測量:

                          偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

                          Max.25 V(可選)

                          小信號(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

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