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                          CYBER TECHNOLOGIES厚度測量儀CT 350T

                          263 閱讀
                          產品介紹

                          快速準確的雙面掃描系統

                          測量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

                          在x和y方向上移動300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動z軸分辨率為20 nm

                          2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖

                          掃描范圍大

                          x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)

                          零件厚度max.80 mm

                          彩色白光傳感器

                          高分辨率離軸相機

                          CT 350T是一款非接觸式雙面光學輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x,y編碼器信號同步的高度數據,并軸向對齊以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計算相應的總厚度輪廓或貼圖。

                          運動系統使用快速,準確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數據速率觸發彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉接板,該系統可以用作標準光學表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統。該系統也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。

                          產品參數

                          集成系統控制器:包括運動控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口

                          工作站電腦:查詢當前規格,22英寸寬屏顯示器

                          連接方式:以太網,DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出

                          電源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)

                          測量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])

                          線性編碼器分辨率

                          X,Y:50 nm(2μin)

                          Z:5 nm(0.2 µin)

                          橫向分辨率:1微米(載物臺分辨率:50 nm)

                          X和Y的行程限制(電動):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])

                          Z行程限制(電動):100 mm (4 in)

                          平臺上的負載:max.10 kg

                          可用的傳感器:共焦白光傳感器

                          工作溫度:18°-20°C(64°F – 68°F)

                          尺寸(長X寬X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](約43 x 51 x 56 [in])

                          重量:650 kg (1.433 lbs)

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