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                          產品中心

                          ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I

                          400 閱讀
                          產品介紹

                          軟電暈預電離

                          高壓固態脈沖發生器

                          激光頭體積<3l

                          TMC(全金屬陶瓷)容器

                          集成真空泵和鹵素過濾器

                          風冷/可選液冷,主動熱管理

                          RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統集成

                          可沖洗光學支架

                          能量穩定模式

                          新一代緊湊型風冷,高重復頻率的準分子激光器,專為中低占空比應用而設計。

                          產品參數

                          氣體介質

                          F2

                          ArF

                          KrF

                          XeCl

                          XeF

                          波長 nm

                          157

                          193

                          248

                          308

                          351

                          高壓開關技術

                          固態開關

                          重復率max. Hz

                          1

                          10

                          15

                          8

                          7

                          脈沖能量max. mJ

                          0.5

                          4.0

                          6.5

                          3.0

                          2.5

                          平均功率max. W

                          500

                          脈沖持續時間 ns

                          5-8

                          光束尺寸(V x H) mm

                          4 x 6

                          光束發散角(V x H)mrad

                          1 x 2

                          能量穩定性(標準偏差)%

                          < 3

                          尺寸(長x寬x高)mm

                          540 x 470 x 370

                          重量 kg

                          60

                          冷卻

                          冷卻空氣/可選液體

                          電源要求

                          230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

                           

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